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真空閥

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 02:33:15 +0000

真空閥 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 04:33

一、工作原理（按類型分）

截止閥（擋板閥）：擋板（閥芯）與閥座貼合 / 脫離控通斷，適配 10?~10?11Pa，密封性強，用于腔室與泵組通斷；
蝶閥：蝶板旋轉(zhuǎn) 0° 開、90° 關(guān)，適配 10?~10?3Pa，阻力小、開關(guān)快，適合大口徑氣路（如干燥爐）；
止回閥（單向閥）：氣體壓力差驅(qū)動閥芯單向?qū)ǎ婪聪蚧亓鳎m配 10?~10?2Pa，用于前級泵出口；
微調(diào)閥：針形閥芯調(diào)間隙控流量，適配 10?~10??Pa，精度高，用于檢漏儀、真空規(guī)氣路。

二、應(yīng)用場景

真空設(shè)備：泵組間裝截止閥聯(lián)動控壓；腔室檢修時關(guān)閥隔離真空；
工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體工藝用微調(diào)閥控氣體流量；真空冶金用蝶閥切換抽真空 / 惰性氣體回填；
科研實驗：超高真空系統(tǒng)（加速器、TEM）用金屬密封截止閥保密封；檢漏儀用微調(diào)閥定漏點；
民生 / 特種：真空包裝機(jī)用截止閥控抽氣密封；航天模擬器用截止閥隔離梯度真空艙。

真空閥類目：

全金屬 UHV 閥
鋁質(zhì)閥
鋁插板閥
電磁擋板閥
不銹鋼插板閥
微調(diào)放氣閥

真空產(chǎn)品

擴(kuò)散泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 02:18:41 +0000

擴(kuò)散泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 04:18

一、工作原理

以高溫油（如擴(kuò)散泵油）為工作介質(zhì)，通過加熱使油汽化產(chǎn)生高速油蒸氣射流（速度超 200m/s）；油蒸氣射流具有動量傳遞作用，將泵腔內(nèi)待抽氣體分子 “裹挾” 至泵壁；

氣體分子與油蒸氣碰撞后，隨油蒸氣向排氣口方向運動；
油蒸氣接觸低溫泵壁后冷凝回流，重新加熱循環(huán)；
被輸送的氣體由前級泵（如旋片泵）抽走，實現(xiàn)中高真空獲取，量程10?1~10??Pa，需搭配前級泵使用，且需控溫防油過熱分解。

二、核心應(yīng)用場景

真空設(shè)備過渡抽氣：作為旋片泵（低真空）與離子泵（超高真空）的 “中間泵”，將系統(tǒng)壓力從 10?1Pa 降至 10??Pa，為超高真空設(shè)備啟動鋪路；
工業(yè)鍍膜：大型光學(xué)鍍膜機(jī)（如眼鏡片、汽車玻璃鍍膜）、磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，維持腔室中高真空，避免膜層雜質(zhì)；
金屬加工：真空釬焊（如航空零部件焊接）、真空熔煉（特種合金制備），抽除爐內(nèi)氣體，防止金屬氧化；
科研與檢測：電子束焊機(jī)、真空光譜儀等設(shè)備，提供中高真空環(huán)境，保障光束穩(wěn)定性與檢測精度。

擴(kuò)散泵類目：

小型擴(kuò)散泵
大型擴(kuò)散泵

真空產(chǎn)品

旋片泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 02:10:22 +0000

旋片泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 04:10

一、工作原理

泵腔內(nèi)偏心安裝轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)嵌入 2-3 片可滑動旋片（靠彈簧或離心力緊貼泵腔內(nèi)壁）；轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片將泵腔分隔為多個可變?nèi)莘e腔室：

進(jìn)氣側(cè)腔室容積增大，吸入待抽氣體；
氣體隨轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動被帶入排氣側(cè)，腔室容積縮小，氣體被壓縮；
當(dāng)氣體壓力高于大氣壓時，推開排氣閥排出，循環(huán)實現(xiàn)抽氣，量程10?~10?2Pa，部分型號可通過氣鎮(zhèn)閥減少水蒸氣凝結(jié)。

二、核心應(yīng)用場景

真空設(shè)備前置抽氣：作為分子泵、離子泵等超高真空設(shè)備的 “前級泵”，先將系統(tǒng)壓力降至 10?1Pa 以下，為后級泵啟動創(chuàng)造條件；
工業(yè)生產(chǎn)：真空干燥（如塑料、電子元件脫水）、真空包裝（食品、醫(yī)療器械防潮）、小型鍍膜機(jī)（裝飾鍍膜、刀具鍍膜）腔室抽低真空；
科研與實驗：實驗室小型真空系統(tǒng)（如真空手套箱、簡易真空罐）、教學(xué)實驗用真空裝置，提供基礎(chǔ)低真空環(huán)境；
日常與民生：冰箱冰柜維修時抽真空（排除管路空氣）、小型真空吸盤設(shè)備（自動化生產(chǎn)線輕型物料搬運）。

旋片泵類目：

實驗室單級 (MS) 旋片泵
工業(yè)用單級 (MS) 旋片泵

真空產(chǎn)品

離子泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 01:42:17 +0000

離子泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 03:42

一、工作原理（按類型分）

濺射離子泵：高壓電場加速電子電離氣體，正離子被鈦陰極捕獲，鈦受轟擊濺射形成薄膜吸附殘余氣體，量程 10?3~10?11Pa，無油潔凈；?
升華離子泵：加熱鈦源使其升華，鈦膜主動吸附氣體，配合電離捕集惰性氣體，量程 10??~10?12Pa，極限真空更高；?
復(fù)合型離子泵：融合濺射與升華技術(shù)，兼顧抽速與極限真空，量程 10??~10?12Pa，適配多氣體成分場景。

二、核心應(yīng)用場景

真空設(shè)備配套：為渦輪分子泵、真空腔室后續(xù)抽氣，保障系統(tǒng)極限真空；監(jiān)測殘余氣體，判斷真空系統(tǒng)是否漏氣；?
科研實驗：為粒子加速器、核聚變裝置構(gòu)建 10??Pa 以下超高真空，減少干擾；為 TEM/SEM、表面物理實驗提供潔凈真空，提升精度；?
工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體光刻、離子注入中維持潔凈真空，避免雜質(zhì)影響芯片制程；光學(xué)鍍膜（激光鏡片、航天元件）中保障膜層質(zhì)量；?
航天軍工：模擬太空 10?1?Pa 以下真空，測試航天器部件；為紅外探測器、精密傳感器提供真空封裝，確保穩(wěn)定性。

離子泵類目：

小型離子泵
中型離子泵
大型離子泵
復(fù)合離子泵
非蒸散型吸氣劑復(fù)合離子泵

真空產(chǎn)品

真空計

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 01:31:00 +0000

真空計 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 03:31

一、工作原理（按類型分）

熱傳導(dǎo)式：利用氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化，通過檢測加熱元件（如鎢絲）的電阻 / 溫度變化反推真空度，量程 10?~10?1Pa，結(jié)構(gòu)簡單；
電離式：燈絲發(fā)射電子電離氣體，離子流強度與壓力成正比，量程 10?1~10?11Pa，精度高，需先抽低真空；
電容式薄膜：壓力差使金屬膜片形變，導(dǎo)致電容變化，量程 10?~10??Pa，耐污染、無燈絲，適配腐蝕性氣體；
冷陰極式：高壓電場電離氣體，無燈絲損耗，量程 10?2~10??Pa，抗沖擊，適合惡劣環(huán)境。

二、核心應(yīng)用場景

真空設(shè)備配套：監(jiān)測真空泵組（分子泵、干泵）壓力，判斷是否達(dá)標(biāo) / 漏氣；保障鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)腔室真空穩(wěn)定；
科研實驗：為加速器、核聚變裝置測超高真空，為 SEM/TEM 等儀器提供低干擾真空環(huán)境，提升實驗精度；
工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體工藝（離子注入、晶圓清洗）控潔凈真空，醫(yī)藥凍干設(shè)備保真空度防藥品破壞；
計量校準(zhǔn)：高精度真空計作標(biāo)準(zhǔn)，校準(zhǔn)低精度設(shè)備，確保測量合規(guī)。

真空計類目：

真空產(chǎn)品

真空規(guī)管

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 01:06:17 +0000

真空規(guī)管 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 03:06

一、工作原理（按類型分）

熱傳導(dǎo)式：靠氣體熱傳導(dǎo)率隨壓力變化，檢測加熱金屬絲電阻反推壓力，量程 10?~10?1Pa，簡單低成本，需校準(zhǔn)；
電離式：電子撞擊氣體電離產(chǎn)生離子流，離子流強度關(guān)聯(lián)壓力，量程 10?1~10?11Pa，精度高，需先抽低真空；
電容式薄膜：壓力差使薄金屬膜形變，導(dǎo)致電容變化，量程 10?~10??Pa，耐污染、無燈絲，適配腐蝕性氣體；
冷陰極電離式：高壓電場電離氣體，無燈絲損耗，量程 10?2~10??Pa，耐沖擊，適合惡劣環(huán)境。

二、應(yīng)用場景

真空設(shè)備：配套真空泵組監(jiān)測壓力（判狀態(tài)、查漏氣），鍍膜機(jī) / 刻蝕機(jī)確認(rèn)真空達(dá)標(biāo)；
科研實驗：加速器、核聚變裝置測超高真空，SEM/TEM 保障成像分辨率；
工業(yè)生產(chǎn)：半導(dǎo)體工藝監(jiān)測潔凈真空，醫(yī)藥凍干設(shè)備控真空度防藥品破壞；
計量校準(zhǔn)：高精度規(guī)管作標(biāo)準(zhǔn)，校準(zhǔn)低精度規(guī)管。

真空規(guī)管類目：

粗真空規(guī)
高真空規(guī)
寬量程真空規(guī)
薄膜真空規(guī)

真空產(chǎn)品

渦旋式干泵

ynqkjdcom — Thu, 21 Aug 2025 00:44:00 +0000

渦旋式干泵 ynqkjdcom Thu, 08/21/2025 - 02:44

一、工作原理

核心為渦旋嚙合壓縮：由靜渦旋盤（固定，外圈進(jìn)氣）與動渦旋盤（偏心旋轉(zhuǎn)，無自轉(zhuǎn)）組成，二者嚙合形成封閉 “月牙形腔室”。過程分三步：

吸氣：動渦旋盤旋轉(zhuǎn)使外圍腔室負(fù)壓，吸入氣體；
壓縮：腔室向中心移動并縮小體積，壓縮氣體；
排氣：腔室到中心排氣口，排出壓縮氣體。
全程無摩擦、無潤滑油，間隙僅數(shù)十微米，實現(xiàn)無油潔凈抽氣，噪音≤65dB。

二、應(yīng)用場景

半導(dǎo)體 / 微電子：適配刻蝕、薄膜沉積等工藝，提供 10?3Pa 潔凈真空，避免晶圓污染，保障芯片精度；
醫(yī)藥 / 食品：用于藥品凍干、食品真空包裝，符合 GMP/FDA 標(biāo)準(zhǔn)，杜絕油污染，保護(hù)熱敏物料活性；
材料 / 鍍膜：助力光學(xué)鍍膜、鋰電池材料干燥，減少鍍膜缺陷，保障電極導(dǎo)電性；
分析儀器 / 科研：為質(zhì)譜儀、表面物理實驗提供低干擾真空，提升檢測精度與數(shù)據(jù)重復(fù)性；
工業(yè)輔助：用于真空吸附搬運、塑料脫氣，避免吸附件油污，降低制品氣泡率。

渦旋式干泵類目：

IDP 渦旋泵
渦旋泵省心套裝
TriScroll 泵
渦旋泵附件

真空產(chǎn)品

渦輪分子泵

ynqkjdcom — Wed, 20 Aug 2025 08:28:33 +0000

渦輪分子泵 ynqkjdcom Wed, 08/20/2025 - 10:28

一、工作原理

以動能傳遞為核心，通過高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪（最高轉(zhuǎn)速 90,000 轉(zhuǎn) / 分，外緣線速度 150-400 米 / 秒），將動能傳遞給氣體分子，使其從無序熱運動轉(zhuǎn)為定向流動；配合交替排列的靜葉輪（間隙僅 1 毫米），實現(xiàn)氣體從進(jìn)氣口向排氣口輸送。需與前級真空泵（工作壓力 1-10?2Pa）協(xié)同，在分子流狀態(tài)下發(fā)揮高真空獲取能力。

二、應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：保障光刻、離子注入等工藝的高真空環(huán)境，避免雜質(zhì)污染，確保芯片精度與性能；
科學(xué)研究：為加速器、電子顯微鏡等提供 10??Pa 以下超高真空，降低實驗干擾；
真空鍍膜：維持穩(wěn)定真空，減少薄膜缺陷，提升光學(xué)、耐磨性能；
本公司除氣爐設(shè)備：
- 應(yīng)用于不銹鋼精密工件（如航空連接件）除氣，將爐內(nèi)真空度穩(wěn)定在 10??Pa 以下，去除 H?、O?等殘留氣體，使材料氣體殘留量≤5ppm；
- 相比傳統(tǒng)系統(tǒng)，設(shè)備潔凈度提升 10 倍、除氣效率提高 30%，工件良品率從 92% 升至 99.5%，獲高端制造客戶復(fù)購。

渦輪分子泵類目：

控制器渦輪分子泵
真空渦輪分子泵
一體化渦輪分子泵系統(tǒng)
模塊化渦輪分子泵系統(tǒng)

真空產(chǎn)品