材料排氣封裝設備
產(chǎn)品概述
用于高純材料排氣封裝.
產(chǎn)品參數(shù)
| 技術參數(shù) | |
|---|---|
| 主要技術指標 | 根據(jù)工件數(shù)量和材料放氣量進行定制(2,4工位) |
| 接口尺寸 | KF40(石英管接頭根據(jù)實際尺寸定做)限真空度(空載)優(yōu)于5×10-7mbar |
| 設備形式 | 水平和立式可選 |
| 設備尺寸 | |
| 設備尺寸 | H1600×W1200×d800 |
| 其他參數(shù) | |
| 供電電源 | 三相五線 380V±5%, 50~60Hz |
全控多年專注非標設備研發(fā)、生產(chǎn)